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金属靶材的主要类型与钛镍锆靶材的应用现状

发布时间 :2022-04-01 22:44:04 浏览次数 :

1、靶材主要种类与用途分析 

溅射工艺属于物理气相沉积(PVD)技术的一种, 是制备电子薄膜材料的主要技术之一。按照应用领域不同,电子派射耙材可以分为半导体靶材、平面靶材、 镀膜玻璃靶材、太阳能光伏靶材等,不同应用领域对 金属材料的选择和性能要求存在一定的差异,其中半 导体集成电路用的溅射耙材技术要求最高,最苛刻。 

溅射钛靶、锆靶材在微电子、建筑玻璃、汽车玻璃、太阳 能等领域应用广泛;高纯金靶材主要用于微电子、集 成电路等电子信息产业,其它贵金属或贵金属化合物溅射靶材主要用于建筑玻璃、汽车玻璃等各类Low-E 玻璃、太阳能等领域。

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2、全球靶材市场规模统计情况 

据前瞻产业研究院发布的《靶材行业发展前景 预测与投资战略规划分析报告》统计数据显示,靶材 全球市场预计2016年 ~ 2019年复合增速13%。2016 年全球派射靶 材 市 场 容 量 达113.6亿美 元 ,相比于 2015年的94.8亿美元增长20% 。预测 2016年 ~ 2019 年均复合增长率达13 % ,到 2019年全球高纯溅射靶 材市场规模将超过163亿美元。2016年全球靶材市 场的下游结构中,半导体占比10%、平板显示占34 % 、 太阳能电池占21% 、记录媒体占29% ,靶材性能要求 依次降低。

2014年 ~ 2016 年全球靶材市场规模统计及增长情况

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中国靶材行业市场规模分析预测 国内靶材需求和供给反差悬殊,国产替代进程 加速。2015年国内靶材需求全球占比近25% ,年速 约 20%;但国内靶材企业市场份额不到2% , 供需比例 反差明显。随着国内溅射靶材技术的成熟和高纯铝 生产技术的提高,我国靶材生产成本优势明显,靶材 原料之一高纯铝的国内进出口量差距也在逐步缩小。 随着 2019年国家进口靶材免税期结束,国内靶材企 业优势更加突出。预计 2018年〜2020年国内靶材需 求将维持20% 以上高速增长,市场份额有望进一步 扩大。 

2018年~ 2020年中国溅射靶材市场需求统计情况及预测

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3、溅射靶材行业整体竞争格局和市场化程度 

近年来,中国已是国际重要的中低端靶材生产 基地,并逐步向高端市场发展。光伏、液晶、电子材 料方面,随着我国LED产业的大规模发展,以及国家 对薄膜电池的支持不断加大,对于制备透明导电膜、 LED液晶显示器的IT0 靶材来说,也是重要的发展机 遇。该领域靶材产品主要为学习发达国家靶材制造 技术,以进口替代为中短期目标。

4、国产半导体靶材的市场占比将会显著提升 

随着国产溅射靶材的技术成熟,尤其是溅射靶材具备较高的性价比优势,并且符合溅射靶材国产 化的政策导向,我国濉射靶材的市场规模将进一步扩 大 ,在全球市场中有望获得更多客户的认可,市场份额进一步提高。

 国产靶材已经成为半导体上游材料最先掌握国 际先进技术的领域。 国内市场中,高纯溉射靶材产 业虽然起步较晚,具有规模化生产能力和较强研发能 力的厂商数量仍然偏少,但是不过近年来随着国家政 策和资金的支持,已有个别龙头企业在某些领域突破 专业技术门槛,并依托有利的产业政策导向和产品价 格优势逐渐在国内靶材市场上占据一定份额,与国外 企业的差距正在缩小,主要有江丰电子、阿石创、有 研新材、隆华节能等。

溅射靶材以及集成电路、平面显示等下游行业属 于国家重点鼓励发展的战略性新兴产业。近年来,为 推动溉射靶材等中上游产业发展,增强我国产业创新能力和国际竞争力,国家先后出台了多项专项政策和鼓励措施。 国家产业政策、研发专项基金的陆 续发布和落实,为溅射靶材及其下游行业的快速发展 营造了良好的产业环境,推动了行业的发展。 

国内溅射粑材产业起步较晚,行业内高端技术人 才也较为稀缺,如何做到上下游一体化,上游配合下游生产,下游支持上游研发,将成为未来国产靶材发展的关键。

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