巨伟钛业谈磁控溅射钛靶材的应用现状与前景

磁控溅射钛靶材主要应用于电子及信息产业，如集成电路、平面显示屏和家装汽车行业装饰镀膜领域，如玻璃装饰镀膜和轮毂装饰镀膜等。

为了更能接近磁控溅射靶材的使用者，以便提供更完善的售后服务，全球主要靶材制造商通常会在客户所在地设立分公司。目前，亚洲的一些国家和地区，如台湾、韩国和新加坡就建立了越来越多制造薄膜元件等产品的工厂，如IC、液晶显示器制造厂，对靶材厂商而言，这是相当重要的新兴市场。因此，全球靶材制造基地正在快速向亚洲地区聚集。随着国内半导体集成电路、平面显示及装饰镀膜等高技术产业的迅猛发展，中国的靶材市场日益扩大，已逐渐成为世界薄膜靶材的最大需求地区之一，这为中国靶材制造业的发展提供了机遇和挑战。近几年，在集成电路产业基金、国家科技重大专项（01、02、03）及地方基金等国家队的带动下，集成电路产业投资可谓大热，据统计，仅2015-2016两年间，国内已经宣布在建或计划开工的晶圆生产线就多达44条，其中300mm 18条，200mm 20条，150mm ６条。在此巨大市场需求的拉动下，靶材产业必将引起了我国有关科研院所和企业的重视和关注，纷纷投入人力、物力、财力从事磁控溅靶材的研发和生产。钛靶材作为靶材领域的独特一个分支无论在半导体A1工艺或Cu工艺下都有应用，同时在液晶显示器行业和装饰镀膜行业有着广泛的应用。目前钛靶材研发生产的基地主要集中在北京、广东地区、江浙、甘肃等地。由于靶材原料纯度、生产装备和工艺研发技术的限制，我国钛靶材制造业还处于初创期，国内钛靶材生产企业基本属于质量和技术门槛较低、采用传统加工方法、依靠价格取胜的低档次溅射靶材生产者，或获利有限的代工型加工厂。生产规模小，品种单一，技术还不稳定，迄今为止，中国（包括中国台湾）仅有几家生产靶材的专业公司，如有研亿金、江峰电子等企业，生产的钛靶材远远不能满足市场发展的需要，大量钛靶材还需从国外进口，高纯度金属钛靶材的原材料已经获得突破，但是大部分还不得不依赖进口。

钛靶材作为一种具有特殊用途的材料，具有很强的应用目的和明确的应用背景。脱离金属钛的冶金提纯技术、EB真空熔炼技术、钛锭无损探伤技术、高纯钛的杂质分析技术、钛靶材的制备技术、溅射机台制备技术、溅射工艺和薄膜性能测试技术单纯地研究钛靶材本身没有任何意义。钛靶材的研发生产及后续的应用改进涉及一个从上游原材料到产业中游设备制造商和靶材制造商共同研发、下游钛靶材镀膜芯片应用的整个产业链。钛靶材性能与溅射薄膜性能之间的关系，既有利于获得满足应用需要的薄膜性能，又有利于更好的使用靶材，充分发挥其作用，促进靶材产业发展。目前正处在集成电路产业在中国大陆蓬勃发展的阶段，机遇和挑战并存，如果不能抓住机遇把靶材制造、薄膜制造和检测设备国产化，我国与国际水平的差距必将越来越大，不仅不能夺回由外商占领的国内市场，更无法参与国际市场的竞争。

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