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源头厂家批量定制钛靶 锆靶 铬靶 材质保证 应用广泛
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源头厂家批量定制钛靶 锆靶 铬靶 材质保证 应用广泛

发布时间 :2022-07-22 07:28:35 浏览次数 :

一、产品名称:钛靶材、钛靶

牌号:TA0, TA1, TA2, TC4, TC6, TC11, GR5, TA7 

厂家:巨伟钛业

主要形式:圆靶、板靶、管靶

钛含量≥:99.8(%)杂质含量:0.02(%)重量:不等(KG/块)

密度:4.51或4.50

圆靶:

60/65/70/80/85/90/95/100(D)×20/30/32/35/40/42/45/50(T)

板靶:60/80/120(W)x6/8/12(T)×519/525/620(L)&60-800(W)x6-40(T)x600-2000(L)

管靶:0.1-30.0mm(W.T.)*3-350mm(O.D.)*50-15000mm

用途:钛靶材用于半导体分离器件、平面显示器、储存器电极薄膜、溅射镀膜、工件表面涂层,玻璃镀膜工业等。

钛靶

二、产品名称:702锆靶、705高纯锆靶、锆块、锆多弧靶 

分类:

形状可分为长靶,方靶,圆靶,异型靶

成份可分为金属靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材

锆靶主要应用于微电子靶材、磁记录靶材、光碟靶材、贵金属靶材、薄膜电阻靶材、导电膜靶材、表面改性靶材、光罩层靶材、装饰层靶材、电极靶材、封装靶材、其他靶材。

锆靶

三、产品名称:高纯铬靶 铬靶材 铬靶块 铬板靶

可定制靶材规格:

圆靶(直径φ1"-φ14",厚度0.5-15mm)

板靶(长<500mm,宽<500mm,高<25mm)

管靶(外直径φ3.0mm-φ300mm,内直径φ2.0mm-280mm)

材料纯度:>99.995%

金属杂质含量:(Al/Fe/Ca/Mg/Cu/Co/Ni/Ti/Mn/Si/Na/K//P/W/Mo/Zn/Sn):<10ppm

平整度(TIR):<20μm

局部平整度(STIR):<10μm

翘曲度(Warp):<50μm

铬靶

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