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高纯铬靶块
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高纯铬靶块

材质:Cr

执行标准: 按图纸生产

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发布日期: 2023-01-04 20:28:15

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详细描述 / Detailed description

公司生产的铬靶材采用先进的热等静压(HIP)工艺生产,产品包括矩形靶、圆弧靶、环形靶和大长径比整体成形管靶等类型,具有纯度和密度可控、晶粒细小均匀、使用寿命长等优点。

铬靶性能
纯度/%99.599.95
密度/g/cm3≥7.12≥7.12
晶粒度/μm≤100≤100
金属杂质总和/ppm≤5000≤500
热导率/W/m.K60100
热膨胀系数/1/K8×10-68×10-6
规格尺寸/mm平面靶≤1500×500≤1500×500
旋转靶热等静压整体成形      长度≤2000     厚度≤15热等静压整体成形          长度≤2000     厚度≤15

2N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分铁(Fe)铝(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
标准≤1500≤1200≤1500≤200≤50≤1400≤300
测试值98030060062501200200

2N8微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分铁(Fe)铝(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
标准≤800≤300≤400≤200≤50≤1000≤100
测试值7407892845034030

3N微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分铁(Fe)铝(Al)硅(Si)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
标准≤500≤100≤150≤150≤30≤500≤100
测试值2904780902845050

3N5微量元素PPM≥7.12g/cm3

成分铁(Fe)铝(Al)硅(Si)铜(Cu)镍(Ni)碳(C)硫(S)氧(O)氮(N)
标准≤100≤50≤50≤10≤50≤50≤30≤150≤80
测试值504540710242713730
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